蒸发源有三种类型。①电阻加热源:用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质(图1[蒸发镀膜设备示意图])电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料;②高频感应加热源:用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质;③电子束加热源:适用于蒸发温度较高(不低于2000[618-1])的材料,即用电子束轰击材料使其蒸发。
蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比,具有较高的沉积速率,可镀制单质和不易热分解的化合物膜。
为沉积高纯单晶膜层,可采用分子束外延方法。生长掺杂的GaAlAs单晶层的分子束外延装置如图2[ 分子束外延装置示意图]。喷射炉中装有分子束源,在**高真空下当它被加热到一定温度时,炉中元素以束状分子流射向基片。基片被加热到一定温度,沉积在基片上的分子可以徙动,按基片晶格次序生长结晶用分子束外延法可获得所需化学计量比的高纯化合物单晶膜,薄膜较慢生长速度可控制在1单层/秒。通过控制挡板,可精确地做出所需成分和结构的单晶薄膜。分子束外延法广泛用于制造各种光集成器件和各种**晶格结构薄膜。
塑料电镀新技术
塑料具有质轻、性能优良,易成型,易加工等特点,应用范围非常广泛,是日常生活和国民经济各部门不可缺少的材料。塑料还可以做为金属,玻璃、陶瓷,木材的代用品。例如,用塑料代替金属生产某些形状复杂的零件,可以省去很多工序,提高工效,节约大量金属材料。
这正是真空镀膜技术和现代尖端技术激光光刻创造出来的奇迹。早已在装饰领域中大显身手的老产品烫转印膜也有了新的发展。室外用的烫转印膜和磁性烫转印膜已经投放市场。前者具有优良的物理性能,可用于烫印汽车外部装饰件。后者能够使被烫印件具有磁性,可用于存贮数据,广泛用于现代化设施的存贮装置中。
重金属废水在电镀行业废水中危害很大,对人体健康十分不利,会导致人体“三致”,即致癌、致畸、致突变。文章探讨了原子吸收分光光度法测定某市电镀废水中铜、镉、铅和锌等四种重金属含量的效果,以期为电镀行业废水中重金属含量的测定提供理论参考。
真空镀膜塑料薄膜的另一个主要用途是制造电容器。日本真空镀膜塑料薄膜耗用量中,电容器占**位,包装材料占*二位。经过真空镀膜处理的聚酯,双轴向拉伸聚丙烯等塑料薄膜可做为电容器的电极使用。蒸镀薄膜型电容器和金属箔型电容器相比,具有小型,大容量、性能好的特点。
利用真空镀膜塑料薄膜的导电性生产抗静电和导电包装膜,适于做集成电路元件和精密仪器零件等的防灰包装。我们知道,透明导电塑料薄膜可用于生产显示装置的透明电极、平面发热体等。