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真空镀膜机漏气怎么检查


查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法，简称检漏，真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的，所以检漏是必不可少的。

通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生，当抽气体系抽气后使真空室内压强降低，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，形成真空度降低。在检漏的过程中，需求留意一些问题，才能把检漏作业做好。

**，要承认漏气究竟的虚漏仍是实漏，因为工件资料加热后都会在不一样程度上发生气体，有可能误以为是从外部流进的气体，这就是虚漏，要扫除这种状况。

*二，测验好真空室的气体密封功能，确保气密功能符合要求。

*三，查看漏孔的巨细，形状、方位，漏气的速度，制备出可解决计划并实施。

*四，断定检查仪器的较小可检漏率和检漏灵敏性，以较大规模的检查出漏气状况，防止一些漏孔被疏忽，进步检漏的准确性。

*五，把握检漏仪器的反应时刻和消除时刻，把时刻把握好，确保检漏仪器作业到位，时刻少了，检漏作用肯定差，时刻长了，浪费检漏气体和人工电费。

*六，还要防止漏孔阻塞，有时因为操作失误，检漏过程中，一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了，以为在该方位没有漏孔，但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了，那漏气仍是存在的。为真空镀膜机做好检漏作业是很重要的，形成真空度降低的缘由多种多样，我们要逐个的解决这些缘由，稳定镀膜的作用。
磁控溅射真空镀膜机不均的原因

磁控溅射真空镀膜机导致不均的因素哪些？专业从事这方面工作的朋友其实还是比较的了解的，它主要可以分为以下几个因素就是：真空状态、磁场、氩气。
磁控溅射真空镀膜机运作就是通过真空状态下正交磁场是电子轰击氩气形成的氩离子再轰击靶材，靶材离子沉积于工件表面成膜。
真空状态就需要抽气系统来进行控制，每个抽气口都要同时开动并力度一致，这样就能控制好抽气的均匀性，如果抽气不均匀，在真空室内的压强就不能均匀了，压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制，太短会造成真空度不够，但太长又浪费资源，不过有真空计的存在，要控制好还是不成问题的。
磁场是正交运作的，但你要将磁场强度做到百分之一百均匀是不可能的，一般磁场强的地方，成膜厚度就大，相反就小，所以会造成膜层厚度的不一致，不过在生产过程中，由于磁场的不均匀导致的膜层不均匀的情况却不是常见的，为什么呢？
原来磁场强弱虽不好进行控制，但同时工件也在同时运转，且是靶材原子多次沉积此案结束镀膜工序，在一段时间内虽然某些部位厚，某些部位薄，但另一个时间内，磁场强的作用下在原来薄的部位沉积上厚的，在厚的部位沉积上薄的，如此多次，整个膜层较终成膜后，均匀性还是比较不错的。
氩气的送气均匀性也会对膜层均匀性产生影响，其原理实际上和真空度差不多，因为氩气的进入，真空室内压强会产生变化，均匀的压强大小可以控制成磁控溅射真空镀膜机膜厚度的均匀性。
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