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真空镀膜机的原理是什么


真空镀膜机是现在制造真空条件使用较为广泛的真空设备，通常用真空室、真空机组、电气控制柜三大多数构成，排气体系选用“分散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”构成。

本公司专业从事真空镀膜设备的研制与出产具有经验丰富的技能团队及优异的售后服务队伍为您处理设备在使用进程中遇到的任何问题。下面，详细介绍真空镀膜机的各部分构成及其作业原理。

一、真空主体——真空腔根据加工产品请求的各异，真空腔的巨细也不一样，现在使用较多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢资料制造，请求不生锈、坚实等，真空腔各部分有衔接阀，用来衔接各抽气泵浦。

二、辅助抽气体系 ：排气体系为镀膜机真空体系的重要部分，首要有由机械泵、增压泵(首要介绍罗茨泵)、油分散泵三大多数构成。此排气体系选用“分散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”构成。

排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA摆布的低真空状况，为分散泵后继抽真空供给条件，以后当分散泵抽真空腔的时分，机械泵又合作油分散泵构成串联，以这么的办法完结抽气动作。

机械泵：也叫前级泵，机械泵是使用较广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依托机械的办法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断胀大然后获得真空。

1.机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要使用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在使用较广泛，这篇文章首要介绍)四种类型。

真空镀膜机设备该如何维修和保养

真空镀膜机维修和保养：
1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。
方法是：
用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意:人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

2、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。
方法是：
拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。
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